特殊晶圓電子束缺陷複檢,全自動化線上檢測設備,符合先進封裝製程的潔淨度與殘留電荷最高要求 為Wafer on FFC客製設計,匯入AOI缺陷座標進行SEM/EDS Review。
Sample
385mm FFC
Warpage
5mm
WPH
1.3