產品與服務

TEMIC MIS Discovery

特殊晶圓電子束缺陷複檢,全自動化線上檢測設備,符合先進封裝製程的潔淨度與殘留電荷最高要求
為Wafer on FFC客製設計,匯入AOI缺陷座標進行SEM/EDS Review。

規格

Sample

385mm FFC

Warpage

5mm

WPH

1.3

  1. 全自動 SEM + EDX。
  2. 專利靜電去除。
  3. 支援OHT。
  4. SECS/GEM。
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