非接觸式清潔探針,不僅能避免探針磨耗並可延長探針卡壽命,大幅降低消耗性清潔產品使用,並能針對不同探針卡規劃自動清潔。
Cooling Method
Water Cooling
Dimension
W2090 x D1250 x H1883mm
Weight
Approx 1800Kg
Graphic Support
DXF by LibreCAD
Power
AC220V, 60Hz ; 3Phase /1PE
Max Current
30A
CDA
5~6kg/cm^2, ϕ10mm