產品與服務

D-Sensor Bridge Beam

透過自動監測探針卡平坦度及水平偏移量,判斷是否發佈警示,並依此避免測試異常。

規格

Platform

Advantest V93k

Measuring range

3,000µm

Resolution

<0.5µm(Static)

Z-axis

  1. 實現測試中Z方向上probe card與bridge beam距離和水平度監控。
  2. 漢民測試與愛德萬攜手合作測試單元監控系統,可做資料整合以監控測試環境。
  3. D-sensor與愛德萬 Force sensor,同時適用實時監控。

Y-axis

  1. 監控探針卡stiffener以推斷潛在針痕偏移。
  2. 漢民測試與愛德萬攜手合作測試單元監控系統,可做資料整合以監控測試環境。
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